أشباه الموصلات-مسحوق السيليكون

المستند التقني: مسحوق السيليكون فائق النقاء-عالي النقاء (UHP)-

علم المواد لعزل الشوائب على المستوى الذري

يبدأ تصنيع-البولي سيليكون من الدرجة الإلكترونية والسلائف الفوقي بالكلورة الهيدروجينية الخاضعة للتحكم لمسحوق السيليكون. المسحوق السيليكون فائق النقاء -عالي النقاء (UHP)-تم تصميمه لتقليل "التسمم التحفيزي" أثناء هذه التحولات الحرجة لمرحلة البخار. هذه هي نقطة البداية "صفر-عيب" لسلسلة قيمة أشباه الموصلات بأكملها.

هندسة قاعدة السلائف-الإلكترونية

رقابة صارمة على الكربون والأكسجين:تمنع عملية الطحن الفراغي- الخاصة بنا تكوين الكربون الخلالي والأكسجين الشبكي. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية لمنع "ملاءمة الحامل" وضمان عمر حامل أقلية مرتفع في السبيكة أحادية البلورية النهائية.

مورفولوجيا السطح الأمثل لمفاعلات الطبقة المميعة (FBR):يتم ضبط شكل الجسيمات وتوزيع الحجم خصيصًا لضمان المثاليةديناميات السيولة. وهذا يمنع "القنوات" و"حمل الغبار-فوق" في مفاعلات الضغط العالي-، مما يؤدي إلى معدل تحويل أعلى للسيليكون إلى ثلاثي كلورسيلان (TCS).

توقيع معدني منخفض جدًا-:ومن خلال استخدام معدات المعالجة المبطنة بالسيراميك-، فإننا نزيل التلوث المتبادل-من وسائط الطحن. وهذا يضمن عدم دخول المعادن الانتقالية إلى الطبقة الفوقية، حيث قد تتسبب بخلاف ذلك في حدوث تيارات تسرب كارثية في البوابات المنطقية الفرعية.

خامل-تخميل الغلاف الجوي:تتم معالجة كل دفعة وتعبئتها تحت -أرجون عالي النقاء للحفاظ على سطح سيليكون "جديد"، مما يضمن حركية التفاعل الفورية والتي يمكن التنبؤ بها عند إدخالها إلى خط التخليق الكيميائي.

التطبيقات الاستراتيجية

إنتاج البولي سيليكون والسيلان:المادة الأولية لعملية Siemens وتقنية FBR لإنتاج مادة البولي سيليكون (EGS)-.

تحضير المواد الفوقي:يُستخدم في تصنيع الغازات الأولية-عالية النقاء لنمو الطبقات المتجانسة الفوقية والمغايرة الفوقية على رقائق السيليكون.

مركبات السيليكون ذات التصنيف الإلكتروني-:حجر الأساس لتصنيع-نيتريد السيليكون وكربيد السيليكون عاليي النقاء لمكونات حجرة أشباه الموصلات.

الوسم : أشباه الموصلات-مسحوق السيليكون من الدرجة، الصين مصنعي وموردي ومصانع مسحوق السيليكون من الدرجة أشباه الموصلات في الصين